Нидерландская компания ASML Holding NV сообщила, что она достигла договорённости о покупке доли в одном из ведущих подразделений немецкой компании Carl Zeiss AG. Если сделка состоится, то к концу второго квартала 2017 года за сумму в 1 млрд евро компания ASML получит 24,9 % акций группы Carl Zeiss SMT. Подразделение Carl Zeiss SMT специализируется на разработке оптических систем для литографических сканеров для выпуска полупроводников. Компания ASML, как знают многие из наших читателей, является лидирующим разработчиком и производителем сканеров для литографической обработки кремниевых подложек (пластин). К слову, Carl Zeiss SMT и ASML сотрудничают уже порядка 30 лет, так что укрепление отношений опирается на хорошую основу.
Новый уровень отношений между ASML и Carl Zeiss SMT должен привести к разработке оптической системы для EUV-сканеров нового поколения (используется излучение в сверхжёстком ультрафиолете с длиной волны 13,5 нм, что требует уже не линз, а зеркал). Первое коммерческое поколение EUV-сканеров массово начнёт использоваться на рубеже 2018—2019 годов. Числовая апертура (NA) оптических систем таких сканеров будет равна 0,33, тогда как NA сканеров следующего поколения должна достичь значения 0,5 или даже выше. Первое поколение сканеров позволит за один проход формировать 7- и 5-нм полупроводники, а второе поколение сканеров ориентировано на выпуск полупроводников с нормами 3 нм и меньшими нормами. Появятся такие сканеры, по оценкам ASML, после 2020 года, но не позже 2025 года.
Кроме покупки акций группы Carl Zeiss SMT компания ASML берёт на себя обязательство инвестировать в разработки оптических систем с высоким значением числовой апертуры (High NA). Первым вкладом станут инвестиции в объёме 220 млн евро. В следующие шесть лет в эти разработки компания ASML вложит ещё 540 млн евро. Отдачей будет не только доступ к перспективным разработкам, но также выплаты в виде дивидендов, которые Carl Zeiss SMT будет платить материнской компании и компании ASML.
