Главная » Технологии » В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.


Источник

О supergran

x

Check Also

Плюсы и минусы есть у всех материалов для строительства и изоляции

Чтобы избежать трудностей с согласованием проекта, покупкой и доставкой материалов и других вещей подобного рода, ...

Взрослые обязаны внимательно следить за чистотой своих игрушек

Гид по чистоте, который поможет разобраться во всех тонкостях гигиены до, после и во время ...

Создать плиты для облицовкм и сайдинга рекомендуют из материалов, которые будут универсальны

Плиты должны иметь малый коэффициент теплопроводности и пористое строение. Поэтому теплоизоляционные плиты сильно не прессуют ...

Разновидности систем вентиляции, которые вы можете выбрать

Разновидности систем вентиляции 1. Приточная. Такая система лучше всего применяется в тех местах, где экологическая ...

Для сантехники и водопровода часто нужны очень прочные шланги

Биде средство личной гигиены. Биде средство каждодневной гигиены. Внешне похож на унитаз с дополнением кранов ...