Главная » Технологии » В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.


Источник

О supergran

x

Check Also

Чтобы получить визу Франции вам понадобиться как следует подготовиться

Национальная виза во Францию также называется долгосрочной, так как предоставляет возможность находиться на территории страны ...

Хороший паллет деревянный всегда пригодится

Паллеты (или поддоны) – это деревянные конструкции, которые служат упаковочным материалом и позволяют в разы ...

Начать строительство теннисных кортов под ключ можно под разные цели

Каждый, кто когда-либо задавался целью спроектировать и построить теннисный комплекс, сталкивался с огромным количеством возникающих ...

Дом у моря давно уже не мечта, а реальность

Дом у моря – мечта или реальность? Наверняка многие из вас задумывались о том, чтобы ...

Профильная труба имеет свои особенности и сферы применения

Профильная труба — разновидность металлопроката, представляющая собой длинное полое изделие с прямоугольным, квадратным или овальным ...