Главная » Технологии » В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.


Источник

О supergran

x

Check Also

VPN на ПК и иных устройствах и безопасная игра в казино

VPN на ПК и иных устройствах Если необходимо иметь доступ к закрытым сайтам, например, онлайн ...

Как придерживаться здорового питания, если большую часть времени мы проводим на работе?

Как придерживаться здорового питания, если большую часть времени мы проводим на работе? Если вы не ...

Обувь от известного бренда выгодно

Одежда и обувь Adidas Neo обладает ярким и эффектным характером. Все, кто знаком с продукцией ...

По каким критериям люди ищут себе партнеров?

Возрастной пунктик Здесь не идет речь о всякого рода сексуальных извращениях — вроде влечения молодых парней ...

Ваш бизнес пойдет в гору: важные правила успеха

Если вы хотите добиться желаемых результатов в бизнесе и постепенно увеличивать рост вашего бизнеса, то ...